晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導(dǎo)線長：2mE52-CA_C-N尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC/DC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電流輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：3點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：--。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：--。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實(shí)現(xiàn)一鍵操作。E3Z-T86檢測方式:對射型。
連接方式:接插件式 （M8） 。
檢測距離:15m。
輸出方式：PNP輸出。
實(shí)現(xiàn)小型、長距離、節(jié)省電力和
節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
穩(wěn)定檢測的高功能光纖傳感器。
也備有適用于EtherCAT通信單元/CompoNet通信單元的E3X-DA0-S型號。
導(dǎo)線引出/省配線接插件型。
分類：高速響應(yīng)型。
連接方式：導(dǎo)線引出（2m）。
控制輸出：NPN輸出。
適用省配線接插件種類：-。
適用省配線接插輸出方式：-。尺寸：96×96mm。
種類：電源AC100～240V用。
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：輸出單元方式。
控制輸出2：輸出單元方式。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障檢測功能：單相或三相加熱器用檢測功能。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn)。
傳送輸出：--。
遠(yuǎn)程SP：4～20mA輸入。
通信：--。
通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產(chǎn)品。
支持簡易運(yùn)算、預(yù)防維護(hù)。
采用可通過紅外線端口從前面進(jìn)行通信的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
高分辨率5位顯示/可顯示0.01°C。
高速采樣周期60ms。
全部機(jī)型完整多種（能夠熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機(jī)器支持多種傳感器。
還支持遠(yuǎn)程SP。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方方便查看溫控器的狀態(tài)（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），
可交互顯示PV/SV。
通過支持軟軟件（CX-Thermo Ver.4.0）進(jìn)行簡易運(yùn)算功能（AND/OR邏輯和延時）設(shè)定，
能夠執(zhí)行柔性的接點(diǎn)輸出。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)測溫控器內(nèi)部繼電器的故障。
備有位置比例型。